RVSI Inspection社のWS-3800Xpressは、このレベルでの検査能力では前例がない、1時間当り115枚にも達するウェハーのマクロ欠陥検査を行う。

　RVSI Inspection社が、業界をリードするWS-シリーズ・ウェハー検査システムの次世代モデルを発表した。WS-3800Xpressは、このレベルでの検査能力では前例がない、1時間当り115枚にも達するウェハーのマクロ欠陥検査を行う。

　営業担当副社長のReza Asgari氏は、「このWS-3800Xpressは、お客様が要求する高分解能で高度なマクロ検査能力を維持したまま、代替システムよりも劇的に速い処理能力を提供いたします。3次元検査モジュールのオプションを用いることにより、WS-3800Xpressは、製造プロセスのどの段階でも、フリップ・チップ用ウェハーの自動検査を単一のプラットフォームで行うことができます。」と述べた｡

　技術担当副社長のFrank Jacovino氏は、「無類のマクロ検査スピードが、強化されたカメラ技術や並行処理、さらには新しいウェハー・ハンドリング・システムを組み合わせることにより実現されます。このWS-3800Xpressには遅延集積カメラ技術を用いており、欠陥検知のもれや判断ミスをすることなく、この検査速度を可能にしています。私どもは、迅速なウェハー・ハンドリング技術と高速処理により、新しいカメラ技術の高速化と高分解能化を両立しました。これにより、お客様に最高の生産速度を達成していただけます。」と述べた。

　社長のKevin Maddy氏は、「WS-3800Xpressの投入により、RVSI社は、市場における最高速のマクロ表面欠陥検査装置の製造業者として、リーダーシップの地位を維持できます。さらにRVSI社は所有コストを下げることにより業界をリードしつつ、現行のWS3000シリーズを使用していただいているお客様にはアップグレードキットを提供させていただきます。」と述べた。

　RVSI社のWS3000シリーズは、ウェハーやフリップ・チップ用ダイの生産管理を改善し、高速な製造速度でのウェハー検査により、生産量と収益性を最大化する方法を提供する。このシステムにより、バンプ形成前のウェハーやプローブマーク、リフロー前後のソルダーバンプ、金製バンプ等のマクロ欠陥検査が可能となる。オプションのフィルム・フレーム・ハンドリング・モジュールを用いれば、ウェハーから切り出したダイの検査も可能である。www.rvsi.com。