半導体及び光電池産業にRF電源、DC電源、半導体産業用プロセス計器などの設計製造を提供するリーディングサプライヤーのComdel社は、同社の広範なプラズマ処理プロダクト・ラインへの最新の追加となるVFシリーズ・マルチチャネル・シンセサイザー・モジュールを発表しました。

半導体及び光電池産業にRF電源、DC電源、半導体産業用プロセス計器などの設計製造を提供するリーディングサプライヤーのComdel社は、同社の広範なプラズマ処理プロダクト・ラインへの最新の追加となるVFシリーズ・マルチチャネル・シンセサイザー・モジュールを発表しました。

半導体及び光電池産業にRF電源、DC電源、半導体産業用プロセス計器などの設計製造を提供するリーディングサプライヤーのComdel社は、同社の広範なプラズマ処理プロダクト・ラインへの最新の追加となるVFシリーズ・マルチチャネル・シンセサイザー・モジュールを発表しました。VFシリーズVFシリーズ・マルチチャネル・シンセサイザーは、破壊的なアーク放電や複合陰極プラズマ処理庫内のクロス・トーク（信号間の干渉）を回避するためにフェーズ調整可能なアウトプットを提供します。その柔軟な設計は遅れを排除し、高周波アプリケーションでさえ、希望のフェーズをロードに毎回一貫して提供します。

VFシリーズは16チャネルまで、および2～60MHzの間の任意の周波数にプログラムすることができます。周波数の変更は同時並行に行われ、フェーズが途切れることはありません。各チャネルのフェーズは、0.1度以上の解像度の正確さで調節することができます。VFシリーズは、太陽電池を利用した光電池の薄型フィルムおよび半導体処理用のRF駆動プラズマ・システムなどの性能要求を満たすよう設計されています。

http://www.comdel.com