およそ30年の歴史を持つプラズマ・エッチング技術の先駆者、Plasma Etch社が、特に大学や研究開発施設向けに設計された、非常に手頃なベンチトップ・プラズマ洗浄システムPE-50を紹介。

およそ30年の歴史を持つプラズマ・エッチング技術の先駆者、Plasma Etch社が、特に大学や研究開発施設向けに設計された、非常に手頃なベンチトップ・プラズマ洗浄システムPE-50を紹介。

PE-50は、ゆったりとした幅6インチx奥行6インチx高さ4インチのアルミニウム真空チャンバーを利用し、5インチx5インチ、3インチの高さクリアランスまでの基板に対応することができます。システムは125W、50KHz RF電源を備えており、連続的に変化する電力に対応可能で、2、3の固定的な電力設定に限定されていません。自動同調機能を備えた13.56MHz RF電源もオプションとして用意されています。PE-50はさらに、独立したガス制御や真空チャンバーへのガス混合イントロダクション用の2プロセス・ガスローターメーターならびに、酸素互換性のためのフォンブリン潤滑油（Fomblin oil：耐腐食性、耐酸化性向上に用いられるフッ素オイル）で満たされた7CFMの真空ポンプを備えています。

PE-50は、自動プロセス配列のためのPLCコントロールシステムを内蔵していることも特筆すべき点です。

http://www.plasmaetch.com