A Hitachi Chemical Co. Ltd. és a DuPont Electronics Technologies közös vállalata, a HD Microsystems L.L.C. bejelentette, hogy saját poliimid és PBO anyagtechnológiai fejlesztéseik támogatására a SUSS MicroTec 200 mm Gamma Production Coat/Develop Cluster megoldását választották.

A poliimidek nagyhőmérsékletű, műszaki alkalmazású polimerek, amelyek kimagasló mechanikai, termikus és elektromos tulajdonságokkal rendelkeznek. Mikroelektronikai alkalmazásaik közé tartoznak a passziváló rétegek, a chip-mikrohuzalkötés, a rétegközti dielektrikumok stb. A poliimidek halmazállapota rendszerint folyékony, a kívánt minőségben és mennyiségben a filmre vagy rétegre adagolás után termikus úton szilárdítják meg. A legtöbb esetben a filmen mintázat fotolitográfiai eljárással alakítható ki. A HD MicroSystems a SUSS Gamma rendszerét a jelenlegi és a még fejlesztési fázisban lévő projektek támogatására helyezte üzembe.

További információ: www.suss.com.